Monter d'un niveau |
Izquierdo, R., Desjardins, P., Elyaagoubi, N., & Meunier, M. (novembre 1992). Laser-Assisted Low-Temperature Deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. Lien externe