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Capteurs thermiques micro-usinés : analyse et proposition d'une nouvelle technique de conception et de fabrication

Stéphane Leclerc

Masters thesis (2000)

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Cite this document: Leclerc, S. (2000). Capteurs thermiques micro-usinés : analyse et proposition d'une nouvelle technique de conception et de fabrication (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/8528/
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Abstract

Capteurs et actuateurs intégrés en couches minces -- Micro dispositifs thermiques intégrés en couches minces -- Un projet de recherche et développement ou un projet de conception -- Considérations de design de capteurs thermiques en couches minces -- Les procédés de microfabrication de circuits intégrés -- Les designs traditionnels et leurs procédés de fabrications -- La gravure anisotrope par la face arrière du dé -- La gravure anisotrope par la face avant du dé -- La gravure sacrificielle de couches minces en surface du dé -- Design proposé : concept et procédé de fabrication -- Technique proposée : la structure à cavité enfouie -- Analyse thermique -- Considérations mécaniques -- Considérations thermomécaniques -- Considérations thermoélectriques -- Considérations électrostatiques (électromécaniques) -- Considérations sur la simplicité et la robustesse de la fabrication.

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Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/1017518780
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:59
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/8528/

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