Mesure in situ de la région fondue lors de la fonte du silicium par un laser focalisé

Abstract

L'ajustement de résistance sur un circuit microélectronique -- Microélectronique analogique -- Nécessité d'un ajustement post fabrication -- Résistance diffusée par laser -- Ajustement spatial -- Ajustement Local -- Modélisation de la fonte -- Grandeurs physiques en jeu -- Calcul numérique de la distribution transitoire de la température -- Modélisation de la mesure in situ optique -- Modèle de réflectivité -- Étude de la dimension du faisceau sonde -- Étude de l'impact de la longueur d'onde -- Comparaison de différents lasers -- Mesures de réfléctivité : montage et procédure -- Composants clés du sous-système de fonte -- Composants clés du sous-systèmes de mesure in situ -- Mesures expérimentale de fonte -- Impulsion carrée -- Impulsion à paliers : vers une fonte mieux controlée.

Uncontrolled Keywords

Circuits intégrés -- Conception et construction; Silicium, Effet des lasers sur le; Silicium -- Propriétés électriques -- Mesure; Résistance électrique -- Mesure