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Mesure in situ de la région fondue lors de la fonte du silicium par un laser focalisé

François Magny

Masters thesis (2005)

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Cite this document: Magny, F. (2005). Mesure in situ de la région fondue lors de la fonte du silicium par un laser focalisé (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/8391/
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Abstract

L'ajustement de résistance sur un circuit microélectronique -- Microélectronique analogique -- Nécessité d'un ajustement post fabrication -- Résistance diffusée par laser -- Ajustement spatial -- Ajustement Local -- Modélisation de la fonte -- Grandeurs physiques en jeu -- Calcul numérique de la distribution transitoire de la température -- Modélisation de la mesure in situ optique -- Modèle de réflectivité -- Étude de la dimension du faisceau sonde -- Étude de l'impact de la longueur d'onde -- Comparaison de différents lasers -- Mesures de réfléctivité : montage et procédure -- Composants clés du sous-système de fonte -- Composants clés du sous-systèmes de mesure in situ -- Mesures expérimentale de fonte -- Impulsion carrée -- Impulsion à paliers : vers une fonte mieux controlée.

Uncontrolled Keywords

Circuits intégrés -- Conception et construction; Silicium, Effet des lasers sur le; Silicium -- Propriétés électriques -- Mesure; Résistance électrique -- Mesure

Open Access document in PolyPublie
Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/676689408
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:59
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/8391/

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