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Mesure in situ de la région fondue lors de la fonte du silicium par un laser focalisé

François Magny

Mémoire de maîtrise (2005)

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Mots clés

Circuits intégrés -- Conception et construction; Silicium, Effet des lasers sur le; Silicium -- Propriétés électriques -- Mesure; Résistance électrique -- Mesure

Renseignements supplémentaires: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/676689408
Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Michel Meunier
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/8391/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 04 août 2021 11:05
Dernière modification: 28 juil. 2023 03:52
Citer en APA 7: Magny, F. (2005). Mesure in situ de la région fondue lors de la fonte du silicium par un laser focalisé [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/8391/

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