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Mesure in-situ de la zone fondue d'un circuit intégré lors de la fabrication d'une résistance diffusée par laser

Stéphane Laforte

Master's thesis (2006)

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Circuits intégrés -- Conception et construction; Silicium, Effet des lasers sur le; Silicium -- Propriétés électriques -- Mesure; Résistance électrique -- Mesure

Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/676689406
Department: Department of Engineering Physics
Academic/Research Directors: Michel Meunier
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/8389/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 28 Jul 2023 00:39
Cite in APA 7: Laforte, S. (2006). Mesure in-situ de la zone fondue d'un circuit intégré lors de la fabrication d'une résistance diffusée par laser [Master's thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/8389/

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