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Mesure in-situ de la zone fondue d'un circuit intégré lors de la fabrication d'une résistance diffusée par laser

Stéphane Laforte

Masters thesis (2006)

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Cite this document: Laforte, S. (2006). Mesure in-situ de la zone fondue d'un circuit intégré lors de la fabrication d'une résistance diffusée par laser (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/8389/
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Abstract

Ajustement de résistances par laser et méthode de contrôle -- Montage expérimantal de fabrication de résistances diffusées et de mesures in-situ optique -- Résultats expérimentaux de mesures in-situ de la puissance réfléchie -- Caractérisation de la technologie 180 nm -- Analyse des comportements de la puissance réfléchie -- Application de la mesure de la puissance réfléchie comme méthode de contrôle in-situ.

Uncontrolled Keywords

Circuits intégrés -- Conception et construction; Silicium, Effet des lasers sur le; Silicium -- Propriétés électriques -- Mesure; Résistance électrique -- Mesure

Open Access document in PolyPublie
Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/676689406
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:59
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/8389/

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