Caractérisation des propriétés physico-chimiques des siliciures de nickel sous forme de couches minces

Abstract

Contexte technologique -- Objectifs du projet et organisation du mémoire -- Séquence de phases et mécanismes de croissance -- Résistivité -- Propriétés mécaniques -- Constantes optiques -- Modes vibratoires observés par spectroscopie Raman -- Gravure chimique -- Synthèse -- Description des échantillons -- Diffraction des rayons X (DRX) -- Spectrométrie des ions rétrodiffusés (SIRD) -- Spectroscopie des ultrasons photogénérés résolue en temps (SUPRT) -- Microscopie électronique en transmission -- Mesure de résistivité quatre pointes -- Ellipsométrie -- Spectroscopie Raman -- Gravure chimique en solution acqueuse -- Conception, fabrication et caractérisation microstructurale des échantillons standards -- Conception des standards -- Recuit des échantillons -- Caractérisation microstructurale des standards -- Propriétés physico-chimiques -- Résistivité -- Propriétés acoustiques -- Constantes optiques -- Spectroscopie Raman -- Gravure -- Préparation et caractérisation des standards -- Propriétés physico-chimiques -- Potentiel pour la caractérisation in situ.

Uncontrolled Keywords

Couches minces de nickel; Nickel -- Alliages -- Analyse; Nickel -- Alliages -- Propriétés électriques; Nickel -- Alliages -- Propriétés acoustiques; Nickel -- Alliages -- Propriétés thermiques; Nickel -- Alliages -- Propriétés optiques; Nickel -- Alliages -- Propriétés