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Étude de la réaction de couches minces de métaux de transition avec le germanium pour leur application en microélectronique

Simon Gaudet

Masters thesis (2005)

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Cite this document: Gaudet, S. (2005). Étude de la réaction de couches minces de métaux de transition avec le germanium pour leur application en microélectronique (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/7698/
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Abstract

Les siliciures utilisées en microélectronique -- Propriétés thermodynamiques et cristallographiques -- Réactions sous forme de couche mince.

Uncontrolled Keywords

Couches minces métalliques; Métaux de transition; Germanium

Open Access document in PolyPublie
Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/198429211
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:58
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7698/

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