Ph.D. thesis (2003)
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Uncontrolled Keywords
MEMS, Microactuateur électrothermique, Bistabilité, Procédé CMOS, Microusinage, Gravure anisotrope et isotrope, Structure en porte-à-faux, Multimorphe, Modélisation actuation thermique
| Additional Information: | Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/57530281 |
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| Department: | Department of Engineering Physics |
| Academic/Research Directors: |
Michel Meunier , John F. Currie and Leslie Landsberger
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| PolyPublie URL: | https://publications.polymtl.ca/7265/ |
| Institution: | École Polytechnique de Montréal |
| Date Deposited: | 04 Aug 2021 11:05 |
| Last Modified: | 26 Sep 2024 23:45 |
| Cite in APA 7: | Ressejac, I. (2003). Microactuateur électrothermique bistable : étude d'implémentation avec une technologie standard CMOS [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7265/ |
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