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Microactuateur électrothermique bistable : étude d'implémentation avec une technologie standard CMOS

Isabelle Ressejac

Ph.D. thesis (2003)

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MEMS, Microactuateur électrothermique, Bistabilité, Procédé CMOS, Microusinage, Gravure anisotrope et isotrope, Structure en porte-à-faux, Multimorphe, Modélisation actuation thermique

Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/57530281
Department: Department of Engineering Physics
Academic/Research Directors: Michel Meunier, John F. Currie and Leslie Landsberger
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7265/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 26 Jul 2023 13:07
Cite in APA 7: Ressejac, I. (2003). Microactuateur électrothermique bistable : étude d'implémentation avec une technologie standard CMOS [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7265/

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