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Microactuateur électrothermique bistable : étude d'implémentation avec une technologie standard CMOS

Isabelle Ressejac

PhD thesis (2003)

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Cite this document: Ressejac, I. (2003). Microactuateur électrothermique bistable : étude d'implémentation avec une technologie standard CMOS (PhD thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/7265/
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Abstract

Les MEMS : des systèmes micro-électro-mécaniques -- La technologie de microfabrication de MEMS -- Domaines d'application du microactuateur bistable -- Conception et design du microactuateur électrothermique bistable -- Etat de l'art sur les microactuateurs -- Principe d'opération et innovation du microactuateur conçu -- Conception et design du microactuateur électrothermique bistable -- Conception de la microfabrication du dispositif en technologie CMOS -- Conception du dispositif dans une technologie standard CMOS -- Stratégie et techniques de micro-usinage utilisées en post-traitement -- Micro-usinage de l'actuateur : mesures, résultats et discussion -- Caractérisation des couches minces du procédé standard CMOS -- Étape l : Dépôt de motifs de platine par pulvérisation et lift-off -- Etape 2 : Gravure anisotrope du silicium au TMAH -- Etape 3 : Gravure isotrope du silicium au XeF2 -- Etape 4 : gravure de la couche de passivation au RIE -- Caractérisation, tests d'actuation et modélisation du microactuateur -- Déflexion initiale de la structure : caractérisation et modélisation -- Tests d'actuation et modélisation du microactuateur.

Uncontrolled Keywords

MEMS, Microactuateur électrothermique, Bistabilité, Procédé CMOS, Microusinage, Gravure anisotrope et isotrope, Structure en porte-à-faux, Multimorphe, Modélisation actuation thermique

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Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/57530281
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:05
Last Modified: 25 Aug 2021 14:57
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/7265/

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