Thèse de doctorat (2003)
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Mots clés
MEMS, Microactuateur électrothermique, Bistabilité, Procédé CMOS, Microusinage, Gravure anisotrope et isotrope, Structure en porte-à-faux, Multimorphe, Modélisation actuation thermique
| Renseignements supplémentaires: | Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/57530281 |
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| Département: | Département de génie physique |
| Directeurs ou directrices: |
Michel Meunier , John F. Currie et Leslie Landsberger
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/7265/ |
| Université/École: | École Polytechnique de Montréal |
| Date du dépôt: | 04 août 2021 11:05 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 17:20 |
| Citer en APA 7: | Ressejac, I. (2003). Microactuateur électrothermique bistable : étude d'implémentation avec une technologie standard CMOS [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal]. PolyPublie. https://publications.polymtl.ca/7265/ |
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