Yves Tessier, Jolanta-Ewa Sapieha
, S. Poulin-Dandurand, Michael R. Wertheimer, S. C. Gujrathi
Article de revue (1987)
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Titre de la revue
:
Canadian Journal of Physics
(
vol.
65
,
no
8
)
Maison d'édition:
NRC Research Press
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:69897
ORCID
Date du dépôt:
21 nov. 2025 09:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:31
Citer en APA 7:
Tessier, Y., Sapieha, J.-E., Poulin-Dandurand, S., Wertheimer, M. R., & Gujrathi, S. C. (1987). Silicon nitride from microwave plasma: fabrication and characterization. Canadian Journal of Physics, 65(8), 859-863. https://doi.org/10.1139/p87-132
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