Silicon nitride from microwave plasma: fabrication and characterization

Yves Tessier, Jolanta-Ewa Sapieha, S. Poulin-Dandurand, Michael R. Wertheimer et S. C. Gujrathi

Article de revue (1987)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/69897/
Titre de la revue:	Canadian Journal of Physics (vol. 65, no 8)
Maison d'édition:	NRC Research Press
DOI:	10.1139/p87-132
URL officielle:	https://doi.org/10.1139/p87-132
Date du dépôt:	21 nov. 2025 09:19
Dernière modification:	21 nov. 2025 09:19

Citer en APA 7:	Tessier, Y., Sapieha, J.-E., Poulin-Dandurand, S., Wertheimer, M. R., & Gujrathi, S. C. (1987). Silicon nitride from microwave plasma: fabrication and characterization. Canadian Journal of Physics, 65(8), 859-863. https://doi.org/10.1139/p87-132
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