A safer procedure to handle semiconductor devices in SEM examination

Philip W. Lavallée

Commentaire ou lettre (1980)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/69848/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science and Technology (vol. 17, no 5)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1116/1.570606
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.570606
Date du dépôt:	21 nov. 2025 15:09
Dernière modification:	21 nov. 2025 15:09

Citer en APA 7:	Lavallée, P. W. (1980). A safer procedure to handle semiconductor devices in SEM examination [Commentaire ou lettre]. Journal of Vacuum Science and Technology, 17(5), 1254-1255. https://doi.org/10.1116/1.570606
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