Commentaire ou lettre (1980)
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science and Technology
(
vol.
17
,
no
5
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:69848
ORCID
Date du dépôt:
21 nov. 2025 15:09
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:31
Citer en APA 7:
Lavallée, P. W. (1980). A safer procedure to handle semiconductor devices in SEM examination [Commentaire ou lettre]. Journal of Vacuum Science and Technology, 17(5), 1254-1255. https://doi.org/10.1116/1.570606
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