Some experimental data related to cathodic sputtering of powders

P. Bacuvier et Philip W. Lavallée

Article de revue (1976)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/69847/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science and Technology (vol. 13, no 5)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1116/1.569083
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.569083
Date du dépôt:	21 nov. 2025 15:08
Dernière modification:	21 nov. 2025 15:08

Citer en APA 7:	Bacuvier, P., & Lavallée, P. W. (1976). Some experimental data related to cathodic sputtering of powders. Journal of Vacuum Science and Technology, 13(5), 1101-1103. https://doi.org/10.1116/1.569083
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