Some experimental data related to cathodic sputtering of powders

P. Bacuvier, Philip W. Lavallée

Article de revue (1976)

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Titre de la revue :
Journal of Vacuum Science and Technology ( vol. 13 , no 5 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:69847
ORCID
Date du dépôt:
21 nov. 2025 15:08
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:31
Citer en APA 7:
Bacuvier, P., & Lavallée, P. W. (1976). Some experimental data related to cathodic sputtering of powders. Journal of Vacuum Science and Technology, 13(5), 1101-1103. https://doi.org/10.1116/1.569083

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