Optimisation et intégration de couches minces de SnO (Pd) sensibles au CO obtenues par dépôt chimique en phase vapeur à partir d'un aérosol

Abstract

L'oxyde d'étain et son utilisation comme capteur de gaz -- Marché des capteurs de gaz -- Propriétés physiques du SnO2 -- Interaction gaz SnO2 -- Capteurs semi-conducteurs à base de SnO2 -- Objectifs du projet et contributions apportées -- Procédé de dépôt et techniques de caractérisation -- Procédé de dépôt de l'élément sensible -- Techniques de caractérisation -- Propriétés chimiques et physiques des couches minces de SnO2 pures et dopées au palladium -- Aspect des couches minces de SnO2 pures et dopées au Pd -- Croissance des couches minces de SnO2 pure et dopées (Pd) -- Composition -- Texture et microstructure -- Propriétés électriques -- Application des couches minces de SnO2 dopées au palladium comme capteur de gaz -- Conductance en fonction de l'atmosphère gazeuse en régime stationnaire -- Conductance en fonction de l'atmosphère gazeuse en régime dynamique -- Effet des recuits sur la sensibilité au CO -- Stabilité de la réponse dans le temps -- Sélectivité -- Réalisation d'un capteur de gaz intégré -- Capteur sans membranes -- Structure avec membranes -- Procédure pour la fabrication de capteurs de gaz intégrés à base de SnO2 avec membrane.