<  Back to the Polytechnique Montréal portal

Optimisation et intégration de couches minces de SnO (Pd) sensibles au CO obtenues par dépôt chimique en phase vapeur à partir d'un aérosol

Danick Briand

Masters thesis (1997)

[img]
Preview
Published Version
Terms of Use: All rights reserved.
Download (7MB)
Cite this document: Briand, D. (1997). Optimisation et intégration de couches minces de SnO (Pd) sensibles au CO obtenues par dépôt chimique en phase vapeur à partir d'un aérosol (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/6704/
Show abstract Hide abstract

Abstract

L'oxyde d'étain et son utilisation comme capteur de gaz -- Marché des capteurs de gaz -- Propriétés physiques du SnO2 -- Interaction gaz SnO2 -- Capteurs semi-conducteurs à base de SnO2 -- Objectifs du projet et contributions apportées -- Procédé de dépôt et techniques de caractérisation -- Procédé de dépôt de l'élément sensible -- Techniques de caractérisation -- Propriétés chimiques et physiques des couches minces de SnO2 pures et dopées au palladium -- Aspect des couches minces de SnO2 pures et dopées au Pd -- Croissance des couches minces de SnO2 pure et dopées (Pd) -- Composition -- Texture et microstructure -- Propriétés électriques -- Application des couches minces de SnO2 dopées au palladium comme capteur de gaz -- Conductance en fonction de l'atmosphère gazeuse en régime stationnaire -- Conductance en fonction de l'atmosphère gazeuse en régime dynamique -- Effet des recuits sur la sensibilité au CO -- Stabilité de la réponse dans le temps -- Sélectivité -- Réalisation d'un capteur de gaz intégré -- Capteur sans membranes -- Structure avec membranes -- Procédure pour la fabrication de capteurs de gaz intégrés à base de SnO2 avec membrane.

Open Access document in PolyPublie
Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/46572108
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:06
Last Modified: 25 Aug 2021 14:57
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/6704/

Statistics

Total downloads

Downloads per month in the last year

Origin of downloads

Repository Staff Only