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Caractérisation et enlèvement de la contamination métallique à l'endos des pastilles de silicium

Félix Beaudoin

Masters thesis (1997)

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Cite this document: Beaudoin, F. (1997). Caractérisation et enlèvement de la contamination métallique à l'endos des pastilles de silicium (Masters thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/6696/
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Abstract

Problématique de la contamination en micro-électronique -- La contamination métallique à l'endos des pastilles -- La contamination métallique en micro-électronique -- Sources de contamination métallique -- Contamination métalliques dans le silicium -- Le nettoyage en micro-électronique -- Nettoyage conventionnel en milieu liquide -- Nettoyage à sec -- Nettoyage par laser -- Caractérisation du transfert de la contamination métallique lors de la manipulation des pastilles -- Méthodologie -- Appareils caractérisés -- Transfert de la contamination métallique -- Transfert de particules -- Contamination inhérent à la caractérisation elle-même -- Effet de la morphologie de surface sur le transfert de contamination métallique -- Vérification de l'efficacité des nettoyages conventionnels -- Nettoyage de l'endos du silicium -- Nettoyage de différents surfaces recouvertes de couches minces -- Contamination inhérente à la caractérisation et signaux parasites -- Nettoyage de l'endos du silicium -- Surface recouverte de polysilicium -- Surfaces recouvertes d'oxyde et de nitrure de silicium -- Nettoyage par laser excimère -- Méthodologie -- Caractérisation du transfert de la contamination métallique lors de la manipulation des pastilles.

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Additional Information: Le fichier PDF de ce document a été produit par Bibliothèque et Archives Canada selon les termes du programme Thèses Canada https://canada.on.worldcat.org/oclc/46571834
Department: Département de génie physique
Date Deposited: 04 Aug 2021 11:06
Last Modified: 25 Aug 2021 14:57
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/6696/

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