Michael R. Wertheimer
et M. Moisan
Communication écrite (1993)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66764/ |
| Nom de la conférence: | 11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1993) |
| Lieu de la conférence: | Loughborough, UK |
| Date(s) de la conférence: | 1993-08-22 - 1993-08-27 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc11/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 16:30 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 16:30 |
| Citer en APA 7: | Wertheimer, M. R., & Moisan, M. (août 1993). Processing of electronic materials by microwave plasma [Communication écrite]. 11th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1993), Loughborough, UK. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc11/content/11/11-1106.pdf |
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