Luke A. MacQueen, Lubomir Zikovsky, G. Dennler, M. Latreche, G. Czeremuszkin et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (2005)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| Organismes subventionnaires: | NSERC |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/66745/ |
| Nom de la conférence: | 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2005) |
| Lieu de la conférence: | Toronto, ON, Canada |
| Date(s) de la conférence: | 2005-08-07 - 2005-08-12 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc17/co... |
| Date du dépôt: | 24 juil. 2025 11:56 |
| Dernière modification: | 24 juil. 2025 11:56 |
| Citer en APA 7: | MacQueen, L. A., Zikovsky, L., Dennler, G., Latreche, M., Czeremuszkin, G., & Wertheimer, M. R. (août 2005). PECVD of nanocrystalline Si layers on high Tg polymer substrates [Communication écrite]. 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2005), Toronto, ON, Canada. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc17/complete/ISPC17complete.pdf#page=2397 |
|---|---|
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