Luke A. MacQueen, Lubomir Zikovsky, G. Dennler, M. Latreche, G. Czeremuszkin, Michael R. Wertheimer
Communication écrite (2005)
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Département:
Unité de recherche:
Organismes subventionnaires:
NSERC
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2005)
Lieu de la conférence:
Toronto, ON, Canada
Date(s) de la conférence:
2005-08-07 - 2005-08-12
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:66745
ORCID
Date du dépôt:
24 juil. 2025 11:56
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:28
Citer en APA 7:
MacQueen, L. A., Zikovsky, L., Dennler, G., Latreche, M., Czeremuszkin, G., & Wertheimer, M. R. (août 2005). PECVD of nanocrystalline Si layers on high Tg polymer substrates [Communication écrite]. 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 2005), Toronto, ON, Canada. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc17/complete/ISPC17complete.pdf#page=2397
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