Cédric Lemieux-Leduc, Régis Guertin, Marc-Antoine Bianki, Yves-Alain Peter
Communication écrite (2018)
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Texte
Résumé
We present an optical gas sensor using SU-8 microdisk whispering gallery mode resonators. Sensitivities were measured for different vapor phases: water, toluene, limonene and valeric acid. The highest reported sensitivity is 18.98 pm/ppm.
Mots clés
Département:
Organismes subventionnaires:
CRSNG/NSERC, CMC Microsystems
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2018)
Lieu de la conférence:
Lausanne, Suisse
Date(s) de la conférence:
2018-07-29 - 2018-08-02
Maison d'édition:
IEEE
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:6275
ORCID
Date du dépôt:
04 mai 2021 18:05
Dernière modification:
14 oct. 2026 10:45
Citer en APA 7:
Lemieux-Leduc, C., Guertin, R., Bianki, M.-A., & Peter, Y.-A. (juillet 2018). Gas sensing with SU-8 whispering gallery mode resonators [Communication écrite]. International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2018), Lausanne, Suisse (2 pages). https://doi.org/10.1109/omn.2018.8454653
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