Cédric Lemieux-Leduc, Régis Guertin, Marc-Antoine Bianki et Yves-Alain Peter
Communication écrite (2018)
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Abstract
We present an optical gas sensor using SU-8 microdisk whispering gallery mode resonators. Sensitivities were measured for different vapor phases: water, toluene, limonene and valeric acid. The highest reported sensitivity is 18.98 pm/ppm.
Mots clés
gas sensor; whispering gallery mode; SU-8
| Sujet(s): |
3100 Physique > 3100 Physique 3100 Physique > 3108 Méthodes expérimentales et instrumentation |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| Organismes subventionnaires: | CRSNG/NSERC, CMC Microsystems |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/6275/ |
| Nom de la conférence: | International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2018) |
| Lieu de la conférence: | Lausanne, Suisse |
| Date(s) de la conférence: | 2018-07-29 - 2018-08-02 |
| Maison d'édition: | IEEE |
| DOI: | 10.1109/omn.2018.8454653 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1109/omn.2018.8454653 |
| Date du dépôt: | 04 mai 2021 18:05 |
| Dernière modification: | 10 avr. 2024 20:35 |
| Citer en APA 7: | Lemieux-Leduc, C., Guertin, R., Bianki, M.-A., & Peter, Y.-A. (juillet 2018). Gas sensing with SU-8 whispering gallery mode resonators [Communication écrite]. International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2018), Lausanne, Suisse (2 pages). https://doi.org/10.1109/omn.2018.8454653 |
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