Marc-Antoine Bianki, Régis Guertin, Cédric Lemieux-Leduc, Yves-Alain Peter
Communication écrite (2024)
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Texte
Résumé
Inkjet printing of polymer microdroplets combined with plasma etching is used to fabricate on-chip high-Q optical microresonators for gas sensing. Devices made of three different polymers (SU-8, polystyrene and polyhexamethylene biguanide) are characterized with carbon dioxide and using vapors of isopropyl alcohol and water.
Mots clés
Département:
Organismes subventionnaires:
CMC, NSERC, FRQNT
Numéro de subvention:
RGPIN-2020-06692, ESD3-534843-2019, ALLRP 577113-2022, B2X 271283
ISBN:
9798350384925
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2024)
Lieu de la conférence:
San Sebastian, Spain
Date(s) de la conférence:
2024-07-28 - 2024-08-01
Maison d'édition:
IEEE
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:59547
ORCID
Date du dépôt:
29 oct. 2024 13:18
Dernière modification:
08 oct. 2026 18:42
Citer en APA 7:
Bianki, M.-A., Guertin, R., Lemieux-Leduc, C., & Peter, Y.-A. (juillet 2024). Inkjet printing of polymeric optical resonators for multi-gas sensing [Communication écrite]. International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2024), San Sebastian, Spain (2 pages). https://doi.org/10.1109/omn61224.2024.10685292
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