Marc-Antoine Bianki, Régis Guertin, Cédric Lemieux-Leduc, Yves-Alain Peter
Communication écrite (2023)
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Texte
Résumé
We investigated an inkjet-printed polymer optical resonator as an environmental sensor. The fabrication method combines additive manufacturing and microfabrication techniques to obtain a suspended SU-8 microdroplet on a silicon pillar. Sensitivity for temperature (−41.4 pm/°C) and humidity sensitivity (0.22 pm/ppm) are measured.
Mots clés
Département:
Organismes subventionnaires:
NSERC, FRQNT
Numéro de subvention:
RGPIN-2020-06692, ALLRP 577113-2022, ESD3-534843-2019, B2X 271283
ISBN:
9798350304022
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) and SBFoton International Optics and Photonics Conference (SBFoton IOPC 2023)
Lieu de la conférence:
Campinas, Brazil
Date(s) de la conférence:
2023-07-31 - 2023-08-03
Maison d'édition:
IEEE
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:56022
ORCID
Date du dépôt:
02 nov. 2023 15:35
Dernière modification:
14 oct. 2026 14:15
Citer en APA 7:
Bianki, M.-A., Guertin, R., Lemieux-Leduc, C., & Peter, Y.-A. (juillet 2023). Investigation of an inkjet printed optical resonator as an environmental sensor [Communication écrite]. International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) and SBFoton International Optics and Photonics Conference (SBFoton IOPC 2023), Campinas, Brazil (2 pages). https://doi.org/10.1109/omn/sbfotoniopc58971.2023.10230943
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