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Microstructural origin of compressive in situ stresses in electron-gun-evaporated silica thin films

Simon Gelin, Delphine Poinot, Sebastien Chatel, Pierre-Jean Calba et Anael Lemaitre

Article de revue (2019)

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Département: Département de mathématiques et de génie industriel
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/43634/
Titre de la revue: Physical Review Materials (vol. 3, no 5)
Maison d'édition: American Physical Society
DOI: 10.1103/physrevmaterials.3.055608
URL officielle: https://doi.org/10.1103/physrevmaterials.3.055608
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:01
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:30
Citer en APA 7: Gelin, S., Poinot, D., Chatel, S., Calba, P.-J., & Lemaitre, A. (2019). Microstructural origin of compressive in situ stresses in electron-gun-evaporated silica thin films. Physical Review Materials, 3(5), 055608 (19 pages). https://doi.org/10.1103/physrevmaterials.3.055608

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