Strain-driven diffusion process during silicon oxidation investigated by coupling density functional theory and activation relaxation technique

Nicholas Salles, Nicholas Richard, Normand Mousseau, Anne Hémeryck

Article de revue (2017)

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Titre de la revue :
Journal of Chemical Physics ( vol. 147 , no 5 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:41322
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:04
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:51
Citer en APA 7:
Salles, N., Richard, N., Mousseau, N., & Hémeryck, A. (2017). Strain-driven diffusion process during silicon oxidation investigated by coupling density functional theory and activation relaxation technique. Journal of Chemical Physics, 147(5), 054701 (9 pages). https://doi.org/10.1063/1.4996206

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