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Nanomechanical properties of hydrogen implanted AIN for layer transfer by ion-induced splitting

C. Wright, M. A. Mamun, K. Tapily, Oussama Moutanabbir, D. Gu, H. Baumgart et A. A. Elmustafa

Affiche (2012)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/40077/
Nom de la conférence: TMS 141st Annual Meeting and Exhibition
Lieu de la conférence: Orlando, Fl.
Date(s) de la conférence: 2012-03-11 - 2012-03-15
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:11
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:25
Citer en APA 7: Wright, C., Mamun, M. A., Tapily, K., Moutanabbir, O., Gu, D., Baumgart, H., & Elmustafa, A. A. (mars 2012). Nanomechanical properties of hydrogen implanted AIN for layer transfer by ion-induced splitting [Affiche]. TMS 141st Annual Meeting and Exhibition, Orlando, Fl..

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