Means for generating a microwave plasma for the treatment of substrates, particularly for plasma polymerization of monomeric

Michael R. Wertheimer

Brevet (1993)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/40025/
Maison d'édition:	École Polytechnique de MontréalÉcole Polytechnique, Palaiseau
URL officielle:	https://patents.google.com/patent/DE4132556
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:25

Citer en APA 7:	Wertheimer, M. R. (1993). Means for generating a microwave plasma for the treatment of substrates, particularly for plasma polymerization of monomeric. (Brevet no DE4132556). https://patents.google.com/patent/DE4132556
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