A. M. Wróbel, B. Lamontagne et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1988)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38253/ |
| Titre de la revue: | Plasma Chemistry and Plasma Processing (vol. 8, no 3) |
| Maison d'édition: | Springer |
| DOI: | 10.1007/bf01020409 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1007/bf01020409 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 07:01 |
| Citer en APA 7: | Wróbel, A. M., Lamontagne, B., & Wertheimer, M. R. (1988). Large-area microwave and radiofrequency plasma etching of polymers. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 8(3), 315-329. https://doi.org/10.1007/bf01020409 |
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