Large-area microwave and radiofrequency plasma etching of polymers

A. M. Wrobel, B. Lamontagne et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1988)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38253/
Titre de la revue:	Plasma Chemistry and Plasma Processing (vol. 8, no 3)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/bf01020409
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/bf01020409
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Wrobel, A. M., Lamontagne, B., & Wertheimer, M. R. (1988). Large-area microwave and radiofrequency plasma etching of polymers. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 8(3), 315-329. https://doi.org/10.1007/bf01020409
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel