A. M. Wróbel, B. Lamontagne, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1988)
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Titre de la revue
:
Plasma Chemistry and Plasma Processing
(
vol.
8
,
no
3
)
Maison d'édition:
Springer
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38253
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Wróbel, A. M., Lamontagne, B., & Wertheimer, M. R. (1988). Large-area microwave and radiofrequency plasma etching of polymers. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 8(3), 315-329. https://doi.org/10.1007/bf01020409
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