Silicon Nitride from Microwave Plasma: Fabrication and Characterization

Yves Tessier, Jolanta-Ewa Sapieha, S. Poulin-Dandurand et Michael R. Wertheimer

Article de revue (2011)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38234/
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 68)
Maison d'édition:	Cambridge University Press
DOI:	10.1557/proc-68-183
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-68-183
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Tessier, Y., Sapieha, J.-E., Poulin-Dandurand, S., & Wertheimer, M. R. (2011). Silicon Nitride from Microwave Plasma: Fabrication and Characterization. MRS Proceedings, 68. https://doi.org/10.1557/proc-68-183
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