Yves Tessier, Jolanta-Ewa Sapieha
, S. Poulin-Dandurand, Michael R. Wertheimer
Article de revue (2011)
Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Département:
Unité de recherche:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
MRS Proceedings
(
vol.
68
)
Maison d'édition:
Cambridge University Press
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38234
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Tessier, Y., Sapieha, J.-E., Poulin-Dandurand, S., & Wertheimer, M. R. (2011). Silicon Nitride from Microwave Plasma: Fabrication and Characterization. MRS Proceedings, 68. https://doi.org/10.1557/proc-68-183
Statistiques
Dimensions
