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The Effect of Frequency in Plasma Materials Processing

A. Raveh, Reuven Avni, Alfred Grill et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1993)

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Renseignements supplémentaires: Plusieurs articles pour la même URL.
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38218/
Nom de la conférence: Israel Materials Engineering Conference (IMEC VI)
Lieu de la conférence: Haifa, Israel
Date(s) de la conférence: 1993-02-24 - 1993-02-25
URL officielle: http://www.iaea.org/inis/collection/NCLCollectionS...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:22
Citer en APA 7: Raveh, A., Avni, R., Grill, A., & Wertheimer, M. R. (février 1993). The Effect of Frequency in Plasma Materials Processing [Communication écrite]. Israel Materials Engineering Conference (IMEC VI), Haifa, Israel. http://www.iaea.org/inis/collection/NCLCollectionStore/_Public/24/063/24063194.pdf

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