The Effect of Frequency in Plasma Materials Processing

A. Raveh, Reuven Avni, Alfred Grill, Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1993)

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Renseignements supplémentaires:
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Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Israel Materials Engineering Conference (IMEC VI)
Lieu de la conférence:
Haifa, Israel
Date(s) de la conférence:
1993-02-24 - 1993-02-25
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38218
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Raveh, A., Avni, R., Grill, A., & Wertheimer, M. R. (février 1993). The Effect of Frequency in Plasma Materials Processing [Communication écrite]. Israel Materials Engineering Conference (IMEC VI), Haifa, Israel. http://www.iaea.org/inis/collection/NCLCollectionStore/_Public/24/063/24063194.pdf

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