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Dielectric properties of plasma-deposited thin films: A comparison of different materials

T. S. Ramu, Michael R. Wertheimer et Jolanta-Ewa Sapieha

Communication écrite (1985)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38216/
Nom de la conférence: Conference on Electrical Insulation & Dielectric Phenomena
Lieu de la conférence: Amherst, NY, USA
Date(s) de la conférence: 1985-10-20 - 1985-10-24
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/ceidp.1985.7728272
URL officielle: https://doi.org/10.1109/ceidp.1985.7728272
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:22
Citer en APA 7: Ramu, T. S., Wertheimer, M. R., & Sapieha, J.-E. (octobre 1985). Dielectric properties of plasma-deposited thin films: A comparison of different materials [Communication écrite]. Conference on Electrical Insulation & Dielectric Phenomena, Amherst, NY, USA. https://doi.org/10.1109/ceidp.1985.7728272

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