Philippe Rabiller, Jolanta-Ewa Sapieha
, Michael R. Wertheimer, Arthur Yelon
Communication écrite (1989)
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Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
3rd International Conference on Conduction and Breakdown in Solid Dielectrics
Lieu de la conférence:
Trondheim, Norway
Date(s) de la conférence:
1989-07-03 - 1989-07-06
Maison d'édition:
IEEE
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38210
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Rabiller, P., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Yelon, A. (juillet 1989). Electrical properties of a-SiOₓNy :H films prepared by microwave PECVD [Communication écrite]. 3rd International Conference on Conduction and Breakdown in Solid Dielectrics, Trondheim, Norway. https://doi.org/10.1109/icsd.1989.69208
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