Electrical properties of PECVD SiO/sub x/N/sub y/:H prepared by microwave plasma

Philippe Rabiller, Stéphane Blain, Jolanta-Ewa Sapieha, Michael R. Wertheimer et Arthur Yelon

Communication écrite (1988)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38209/
Nom de la conférence:	IEEE International Symposium on Electrical Insulation
Date(s) de la conférence:	1988-06-05 - 1988-06-08
Maison d'édition:	IEEE
DOI:	10.1109/elinsl.1988.13890
URL officielle:	https://doi.org/10.1109/elinsl.1988.13890
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	08 avr. 2025 07:01

Citer en APA 7:	Rabiller, P., Blain, S., Sapieha, J.-E., Wertheimer, M. R., & Yelon, A. (juin 1988). Electrical properties of PECVD SiO/sub x/N/sub y/:H prepared by microwave plasma [Communication écrite]. IEEE International Symposium on Electrical Insulation. https://doi.org/10.1109/elinsl.1988.13890
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