B. Lamontagne, Edward Sacher et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1991)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
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URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38187/ |
Titre de la revue: | Applied Surface Science (vol. 52, no 1) |
Maison d'édition: | Elsevier |
DOI: | 10.1016/0169-4332(91)90116-2 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1016/0169-4332%2891%2990116-2 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:32 |
Citer en APA 7: | Lamontagne, B., Sacher, E., & Wertheimer, M. R. (1991). Silicon-carbon reaction provoked by the sputter cleaning of lightly contaminated crystalline silicon. Applied Surface Science, 52(1), 71-76. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2891%2990116-2 |
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