B. Lamontagne, Edward Sacher, Michael R. Wertheimer
Article de revue (1991)
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Département:
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Titre de la revue
:
Applied Surface Science
(
vol.
52
,
no
1
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38187
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Lamontagne, B., Sacher, E., & Wertheimer, M. R. (1991). Silicon-carbon reaction provoked by the sputter cleaning of lightly contaminated crystalline silicon. Applied Surface Science, 52(1), 71-76. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2891%2990116-2
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