Silicon-carbon reaction provoked by the sputter cleaning of lightly contaminated crystalline silicon

B. Lamontagne, Edward Sacher et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1991)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38187/
Titre de la revue:	Applied Surface Science (vol. 52, no 1)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0169-4332(91)90116-2
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0169-4332%2891%2990116-2
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	08 avr. 2025 07:01

Citer en APA 7:	Lamontagne, B., Sacher, E., & Wertheimer, M. R. (1991). Silicon-carbon reaction provoked by the sputter cleaning of lightly contaminated crystalline silicon. Applied Surface Science, 52(1), 71-76. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2891%2990116-2
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