R. Groleau, John F. Currie, Michael R. Wertheimer
, Jolanta-Ewa Sapieha et Wang Ke-Ming
Article de revue (1986)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38171/ |
| Titre de la revue: | Thin Solid Films (vol. 136, no 1) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/0040-6090(86)90111-2 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/0040-6090%2886%2990111-2 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 07:00 |
| Citer en APA 7: | Groleau, R., Currie, J. F., Wertheimer, M. R., Sapieha, J.-E., & Ke-Ming, W. (1986). Chemical characterization of plasma-polymerized hexamethyldisilazane by nuclear elastic recoil detection. Thin Solid Films, 136(1), 85-92. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2886%2990111-2 |
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