Chemical characterization of plasma-polymerized hexamethyldisilazane by nuclear elastic recoil detection

R. Groleau, John F. Currie, Michael R. Wertheimer, Jolanta-Ewa Sapieha et Wang Ke-Ming

Article de revue (1986)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38171/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 136, no 1)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0040-6090(86)90111-2
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0040-6090%2886%2990111-2
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:32

Citer en APA 7:	Groleau, R., Currie, J. F., Wertheimer, M. R., Sapieha, J.-E., & Ke-Ming, W. (1986). Chemical characterization of plasma-polymerized hexamethyldisilazane by nuclear elastic recoil detection. Thin Solid Films, 136(1), 85-92. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2886%2990111-2
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