R. Groleau, John F. Currie, Michael R. Wertheimer
, Jolanta-Ewa Sapieha, Wang Ke-Ming
Article de revue (1986)
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Titre de la revue
:
Thin Solid Films
(
vol.
136
,
no
1
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38171
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Groleau, R., Currie, J. F., Wertheimer, M. R., Sapieha, J.-E., & Ke-Ming, W. (1986). Chemical characterization of plasma-polymerized hexamethyldisilazane by nuclear elastic recoil detection. Thin Solid Films, 136(1), 85-92. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2886%2990111-2
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