Energy Conversion Efficiency in Low- and Atmospheric-Pressure Plasma Polymerization Processes, Part II: HMDSO

Dirk Hegemann, Bernard Nisol, Sean Watson et Michael R. Wertheimer

Article de revue (2016)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/36222/
Titre de la revue:	Plasma Chemistry and Plasma Processing (vol. 37, no 1)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/s11090-016-9754-x
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/s11090-016-9754-x
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:05
Dernière modification:	08 avr. 2025 06:58

Citer en APA 7:	Hegemann, D., Nisol, B., Watson, S., & Wertheimer, M. R. (2016). Energy Conversion Efficiency in Low- and Atmospheric-Pressure Plasma Polymerization Processes, Part II: HMDSO. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 37(1), 257-271. https://doi.org/10.1007/s11090-016-9754-x
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