CF₄-Ar reactive ion etching of gallium arsenide

P. Lussier, M. Bélanger, Michel Meunier et John F. Currie

Article de revue (1989)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35779/
Titre de la revue:	Canadian Journal of Physics (vol. 67, no 4)
Maison d'édition:	Canadian Science Publishing
DOI:	10.1139/p89-045
URL officielle:	https://doi.org/10.1139/p89-045
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Lussier, P., Bélanger, M., Meunier, M., & Currie, J. F. (1989). CF₄-Ar reactive ion etching of gallium arsenide. Canadian Journal of Physics, 67(4), 259-261. https://doi.org/10.1139/p89-045
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