P. Lussier, M. Bélanger, Michel Meunier
, John F. Currie
Article de revue (1989)
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Titre de la revue
:
Canadian Journal of Physics
(
vol.
67
,
no
4
)
Maison d'édition:
Canadian Science Publishing
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35779
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Lussier, P., Bélanger, M., Meunier, M., & Currie, J. F. (1989). CF₄-Ar reactive ion etching of gallium arsenide. Canadian Journal of Physics, 67(4), 259-261. https://doi.org/10.1139/p89-045
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