Defining micron-scale platinum contacts on hydrogenated amorphous silicon

A. Lecours, Michel Meunier et M. Bisson

Article de revue (1990)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35765/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures (vol. 8, no 1)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.584856
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.584856
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:19

Citer en APA 7:	Lecours, A., Meunier, M., & Bisson, M. (1990). Defining micron-scale platinum contacts on hydrogenated amorphous silicon. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 8(1), 109-110. https://doi.org/10.1116/1.584856
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