Defining micron-scale platinum contacts on hydrogenated amorphous silicon

A. Lecours, Michel Meunier et M. Bisson

Article de revue (1990)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35765/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures (vol. 8, no 1)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.584856
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.584856
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Lecours, A., Meunier, M., & Bisson, M. (1990). Defining micron-scale platinum contacts on hydrogenated amorphous silicon. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 8(1), 109-110. https://doi.org/10.1116/1.584856
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel