A. Lecours, Michel Meunier
, M. Bisson
Article de revue (1990)
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Département:
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
(
vol.
8
,
no
1
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35765
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Lecours, A., Meunier, M., & Bisson, M. (1990). Defining micron-scale platinum contacts on hydrogenated amorphous silicon. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 8(1), 109-110. https://doi.org/10.1116/1.584856
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