R. Izquierdo, C. Lavoie et Michel Meunier
Communication écrite (1989)
Un lien externe est disponible pour ce document
| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35745/ |
| Nom de la conférence: | 1989 MRS Fall Meeting |
| Lieu de la conférence: | Boston, Mass. |
| Date(s) de la conférence: | 1989-11-27 - 1989-12-02 |
| Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 158) |
| Maison d'édition: | Materials Research Society |
| DOI: | 10.1557/proc-158-141 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-158-141 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Izquierdo, R., Lavoie, C., & Meunier, M. (novembre 1989). KRF excimer laser deposition of titanium from TiCl₄ [Communication écrite]. 1989 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 158. https://doi.org/10.1557/proc-158-141 |
|---|---|
Statistiques
Dimensions
Actions réservées au personnel
|
Afficher document |
