KRF excimer laser deposition of titanium from TiCl₄

R. Izquierdo, C. Lavoie, Michel Meunier

Communication écrite (1989)

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Nom de la conférence:
1989 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:
Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:
1989-11-27 - 1989-12-02
Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 158 )
Maison d'édition:
Materials Research Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35745
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Izquierdo, R., Lavoie, C., & Meunier, M. (novembre 1989). KRF excimer laser deposition of titanium from TiCl₄ [Communication écrite]. 1989 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 158. https://doi.org/10.1557/proc-158-141

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