KRF excimer laser deposition of titanium from TiCl₄

R. Izquierdo, C. Lavoie et Michel Meunier

Communication écrite (1989)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35745/
Nom de la conférence:	1989 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:	Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:	1989-11-27 - 1989-12-02
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 158)
Maison d'édition:	Materials Research Society
DOI:	10.1557/proc-158-141
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-158-141
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Izquierdo, R., Lavoie, C., & Meunier, M. (novembre 1989). KRF excimer laser deposition of titanium from TiCl₄ [Communication écrite]. 1989 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 158. https://doi.org/10.1557/proc-158-141
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel