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Preparation and characterization of thin polymer-like coatings on silicon via photo-initiated chemical vapor deposition (PICVD)

Donya Farhanian, Jason Robert Tavares et Gregory De Crescenzo

Communication écrite (2016)

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Renseignements supplémentaires: Plusieurs articles pour la même URL.
Département: Département de génie chimique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/35084/
Nom de la conférence: McGill-Polytechnique Chemical Engineering Research Day
Lieu de la conférence: Montréal, Québec
Date(s) de la conférence: 2016-03-15
URL officielle: https://www.mcgill.ca/chemeng/files/chemeng/resear...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:05
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:18
Citer en APA 7: Farhanian, D., Tavares, J. R., & De Crescenzo, G. (mars 2016). Preparation and characterization of thin polymer-like coatings on silicon via photo-initiated chemical vapor deposition (PICVD) [Communication écrite]. McGill-Polytechnique Chemical Engineering Research Day, Montréal, Québec. https://www.mcgill.ca/chemeng/files/chemeng/researchday2016.pdf

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