Preparation and characterization of thin polymer-like coatings on silicon via photo-initiated chemical vapor deposition (PICVD)

Donya Farhanian, Jason Robert Tavares, Gregory De Crescenzo

Communication écrite (2016)

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Nom de la conférence:
McGill-Polytechnique Chemical Engineering Research Day
Lieu de la conférence:
Montréal, Québec
Date(s) de la conférence:
2016-03-15
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35084
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:05
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:24
Citer en APA 7:
Farhanian, D., Tavares, J. R., & De Crescenzo, G. (mars 2016). Preparation and characterization of thin polymer-like coatings on silicon via photo-initiated chemical vapor deposition (PICVD) [Communication écrite]. McGill-Polytechnique Chemical Engineering Research Day, Montréal, Québec. https://www.mcgill.ca/chemeng/files/chemeng/researchday2016.pdf

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