Plasma polymers deposited in atmospheric pressure dielectric barrier discharges: Influence of process parameters on film properties

Katja Fricke, Pierre-Luc Girard-Lauriault, Klaus-Dieter Weltmann, Michael R. Wertheimer

Article de revue (2016)

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Département:
Département de génie physique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/35056/
Titre de la revue :
Thin Solid Films ( vol. 603 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/j.tsf.2016.01.057
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2016.01.057
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35056
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:05
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:24
Citer en APA 7:
Fricke, K., Girard-Lauriault, P.-L., Weltmann, K.-D., & Wertheimer, M. R. (2016). Plasma polymers deposited in atmospheric pressure dielectric barrier discharges: Influence of process parameters on film properties. Thin Solid Films, 603, 119-125. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2016.01.057

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