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Micro-opto-mechanical systems: Study of an array of torsional micro-mirrors in an opto-mechanical switch

Yves-Alain Peter et H. P. Herzig

Communication écrite (1997)

Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal

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URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/33937/
Nom de la conférence: EOS Topical Meeting on Diffractive Optics
Lieu de la conférence: Savonlinna, Finland
Date(s) de la conférence: 1997-07-07 - 1997-07-09
URL officielle: http://www.polymtl.ca/pomp/doc/Peter1997EOSDOSavon...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:23
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:16
Citer en APA 7: Peter, Y.-A., & Herzig, H. P. (juillet 1997). Micro-opto-mechanical systems: Study of an array of torsional micro-mirrors in an opto-mechanical switch [Communication écrite]. EOS Topical Meeting on Diffractive Optics, Savonlinna, Finland. http://www.polymtl.ca/pomp/doc/Peter1997EOSDOSavonlinna.pdf

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