Clara Santato, Giorgio Mattei, Wu Ruihua et Federico Mecarini
Article de revue (2004)
Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal
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Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 95, no 10) |
Maison d'édition: | American Institute of Physics |
DOI: | 10.1063/1.1699506 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.1699506 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:16 |
Citer en APA 7: | Santato, C., Mattei, G., Ruihua, W., & Mecarini, F. (2004). In situ micro Raman investigation of the laser crystallization in Si thin films plasma enhanced chemical vapor deposition-grown from He-diluted SiH4. Journal of Applied Physics, 95(10), 5366-5372. https://doi.org/10.1063/1.1699506 |
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