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Remote oxygen-containing hydrogen plasma treatment of porous silicon

U. Gruning, S. C. Gujrathi, Suzie Poulin, Y. Diawara et Arthur Yelon

Article de revue (1994)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/33249/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 75, no 12)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.356550
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.356550
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:24
Citer en APA 7: Gruning, U., Gujrathi, S. C., Poulin, S., Diawara, Y., & Yelon, A. (1994). Remote oxygen-containing hydrogen plasma treatment of porous silicon. Journal of Applied Physics, 75(12), 8075-9. https://doi.org/10.1063/1.356550

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