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Laser fabrication of three-dimensional microstructures, cavities, and columns

Bing Shen, Ricardo Izquierdo et Michel Meunier

Communication écrite (1993)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/32865/
Nom de la conférence: Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures
Lieu de la conférence: Québec City, Canada
Date(s) de la conférence: 1993-08-17 - 1993-08-19
Maison d'édition: Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
DOI: 10.1117/12.167546
URL officielle: https://doi.org/10.1117/12.167546
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:15
Citer en APA 7: Shen, B., Izquierdo, R., & Meunier, M. (août 1993). Laser fabrication of three-dimensional microstructures, cavities, and columns [Communication écrite]. Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures, Québec City, Canada. https://doi.org/10.1117/12.167546

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