Laser fabrication of three-dimensional microstructures, cavities, and columns

Bing Shen, Ricardo Izquierdo et Michel Meunier

Communication écrite (1993)

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Département:	Département de génie physique
ISBN:	0819413046
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/32865/
Nom de la conférence:	Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures
Lieu de la conférence:	Québec City, Canada
Date(s) de la conférence:	1993-08-17 - 1993-08-19
Maison d'édition:	Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
DOI:	10.1117/12.167546
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.167546
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:	08 avr. 2025 06:53

Citer en APA 7:	Shen, B., Izquierdo, R., & Meunier, M. (août 1993). Laser fabrication of three-dimensional microstructures, cavities, and columns [Communication écrite]. Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures, Québec City, Canada. https://doi.org/10.1117/12.167546
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